概述
nXDSi 是下一代無(wú)油的干式渦旋泵,并取代 XDS。nXDS 提高了傳統(tǒng)泵的性能,抽速更高,極限壓力更低,功耗更低,噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽,包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了的端部密封技術(shù),顯著延長(zhǎng)了端部密封更換的時(shí)間間隔。具有自動(dòng)電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動(dòng)提供整體優(yōu)化的泵送性能,nXDS 可進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)維修。
用途
一般清潔泵送應(yīng)用
電子掃描顯微鏡 - SEM
射束線和高能物理
前級(jí)渦輪泵
超高速離心機(jī)
覆層
低溫學(xué)
脫氣/硫化 - 油,環(huán)氧樹脂
蒸餾/萃取/過(guò)濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干燥
實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空
激光、氣體回收和再循環(huán)
氦檢漏儀
負(fù)載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環(huán)
稀有氣體回收
冷凍制造
研發(fā)
旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
SEM/FIB(離子束維修)
溶劑回收
表面科學(xué)儀器
特性與優(yōu)勢(shì)
真空外殼中不需要使用潤(rùn)滑劑,密封可保證的清潔和干燥真空,防止交叉污染
無(wú)大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能以更低溫度運(yùn)行,使用時(shí)間更長(zhǎng)
簡(jiǎn)單的單側(cè)滾軸布置與創(chuàng)新的電機(jī)和軸承設(shè)計(jì)相結(jié)合,只需程度的特殊工具,就能實(shí)現(xiàn)輕松的現(xiàn)場(chǎng)服務(wù),因此可降低運(yùn)行成本,盡可能延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間
改進(jìn)了電機(jī)和傳動(dòng)效率,可降低功耗和運(yùn)行成本
的接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法,可通過(guò) USB、RS232 或 RS485 實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視