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進(jìn)口愛德華iH80干式泵維修及螺桿泵保養(yǎng)

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進(jìn)口愛德華iH80干式泵維修及螺桿泵保養(yǎng)

Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明，可以按照Z高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率

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進(jìn)口愛德華iH80干式泵維修及螺桿泵保養(yǎng)

iH80 干式泵愛德華iH80干式泵維修及螺桿泵保養(yǎng) 維修：（陶）

湖南瑞峰騰潤(rùn)滑設(shè)備有限公司專業(yè)維修各*干式螺桿泵。

概述

Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明，可以按照zui高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，

同時(shí)zui大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。

iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

應(yīng)用

負(fù)載鎖

輸送

計(jì)量