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磁懸浮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M

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  Pfeiffer vacuum 普發(fā)真空
  美國 HVA真空閥門

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Pfeiffer 普發(fā)磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M
上海伯東德國 Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M: 抽速范圍在 1400-2800l/s 的磁懸浮渦輪分子泵. ATH 系列磁懸浮分子泵擁有5軸磁軸承監(jiān)測系統(tǒng)和實時的轉(zhuǎn)子位移自動修正功能確保長時間的穩(wěn)定性和可靠性, 同時運行時也非常安靜. 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 系列廣泛應(yīng)用于半導體, 鍍膜和離子刻蝕等行業(yè).

Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 優(yōu)點
1. 清潔無油, 大抽速
2. 免維護低成本保養(yǎng)費
3. 渦輪分子泵極低的噪音和震動
4. 可任意角度安裝
Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M，ATP 2300M

P
feiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 技術(shù)參數(shù)

分子泵型號	分子泵連接尺寸 DN		抽速 l/s			壓縮比	啟動壓強hPa	極限壓力	全轉(zhuǎn)速氣體流量hPa l/s	啟動時間	重量
分子泵型號	進氣口	排氣口	氮氣 N₂	氦氣He	氫氣 H₂	氮氣 N₂	氮氣N₂	hPa	氮氣N₂	min	kg
ATH 1603 M ATH 1600 MT	250	40	1,400	970	540	> 1X10⁸	1.7	< 6X10^–9	67	6	42
ATH 2303 M ATH 2300 MT	250	40	2,150	1,800	1,100	> 1X10⁸	2.9	< 6X10^–9	67	8	68
ATH 2800 M ATH 2800 MT	250	40	2,200	2,400	1,550	> 1X10⁸	2.1	< 6X10^–9	84	10	93
ATH 3200 M ATH 3200 MT	320	40	2,800	2,500	1,700	> 1X10⁸	2.1	< 6X10^–9	84	10	93
ATP 2300 M	320	40	1,950	2,050	1,700	> 1X10⁸	2.1	< 6X10^–9	37	8	60

MT 型號的分子泵配有集成加熱帶可以進行溫度控制. 其自帶加熱系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)同時作用, 可以確保泵的工作溫度相對恒定 (工作溫度75°C), 同時最小化過程化學物或副產(chǎn)物在泵體內(nèi)因冷凝而產(chǎn)生的沉積.

上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速 90,000 rpm, 極限真空 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時間可以達到 100,000 小時! 普發(fā)分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推薦分子泵典型應(yīng)用 >>

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