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iNano高精度臺(tái)式納米壓痕儀

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產(chǎn)品型號(hào)iNano

品       牌

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

詳細(xì)介紹

KLA公司全系列的力學(xué)測(cè)試產(chǎn)品均采用電磁驅(qū)動(dòng)原理的加載力激發(fā)器， iNano高精度臺(tái)式納米壓痕儀。對(duì)納米壓痕物理模型和線性特性的電磁力驅(qū)動(dòng)原理的深刻理解，以及高靈敏度的三片式電容傳感器的設(shè)計(jì)，保證全系列納米力學(xué)產(chǎn)品在整個(gè)量程范圍內(nèi)均能得到高精準(zhǔn)、高分辨的控制。50mN載荷范圍，3nN加載精度，0.002nm位移精度。

? 快速精準(zhǔn)的動(dòng)態(tài)納米壓痕測(cè)試

? 電磁加載方式

? 快速精準(zhǔn)的位移測(cè)量

? 超高框架剛度

? 熱漂移 <0.05nm/s


關(guān)鍵詞：傳感器

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