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Pfeiffer 普發(fā) APR 4300 無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境

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產(chǎn)品型號(hào)pfeiffer普發(fā)

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蘇州震拓自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

類(lèi)型：無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)品牌：pfeiffer普發(fā)型號(hào)：APR 4300描述：普發(fā)污染管理解決方案

詳細(xì)介紹

Pfeiffer 普發(fā) APR 4300 無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境

普發(fā) APR 4300 無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境.jpg

產(chǎn)品規(guī)格：

應(yīng)用:
用于無(wú)菌室, 環(huán)境

產(chǎn)品介紹：

APR 4300 可在分子層面上凈化 300 mm 的晶圓以及它們的運(yùn)輸箱 (FOUP)，并在等待時(shí)間內(nèi)保護(hù)它們。

可靠的凈化處理和預(yù)防污染
APR 是一個(gè)在等待時(shí)間內(nèi)凈化晶圓并防止污染的系統(tǒng)?？諝夥肿游廴疚铮ê?jiǎn)稱(chēng) AMC）降低了半導(dǎo)體生產(chǎn)中的產(chǎn)量和質(zhì)量而 APR 則能有效地防止晶圓和輸送箱表面吸附被污染的有機(jī)或無(wú)機(jī)分子。通過(guò)在 APR 室里進(jìn)行疏散，吸附概率大幅度減少。晶圓廠可通過(guò)這種方式顯著地增加產(chǎn)量，且各個(gè)工藝步驟之間的等待時(shí)間也會(huì)得到優(yōu)化。

APR 是如何工作的？
FOUP 既可以手動(dòng)傳送，也可通過(guò) 2 個(gè)裝載端口上的懸掛式起重運(yùn)輸 (OHT) 來(lái)傳送。APR 是一個(gè)帶有四疊真空室的系統(tǒng)，用于對(duì)晶圓和 FOUP 作凈化去污處理，這項(xiàng)工作由一個(gè)可靠的機(jī)器人來(lái)?yè)?dān)任。所有腔室都配備了真空泵站、氣箱、操作面板以及帶電源的控制器。且這些腔室均可以單獨(dú)地進(jìn)行操作。當(dāng)把含有晶圓的 FOUP 裝載到腔室以后，腔室中的壓力減少到 0.1 mbar。然后進(jìn)行去污凈化處理。之后，該腔室采用潔凈的氮?dú)膺M(jìn)行吹掃并恢復(fù)到大氣壓。此時(shí)，這些晶圓以及運(yùn)輸箱不受污染已超過(guò)一天。

關(guān)鍵詞：機(jī)器人真空泵控制器

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