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安捷倫 HS-20 擴(kuò)散泵

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產(chǎn)品型號(hào)Agilent

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蘇州震拓自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

類型：擴(kuò)散泵品牌：Agilent型號(hào)：HS-20描述：安捷倫 HS-20 擴(kuò)散泵

詳細(xì)介紹

安捷倫HS-20 擴(kuò)散泵

低成本的 HS 系列泵提供 2 英寸和 16 英寸至 35 英寸等多種尺寸，具有高速、低極限壓力、高抽氣量、前級耐壓高、低返油的特點(diǎn)。該 HS 系列擴(kuò)散泵標(biāo)準(zhǔn)配置過熱保護(hù)開關(guān)和可選的速冷盤管。16 英寸至 35 英寸泵附帶油位觀察窗/注油和放油組件，并提供 ASA 或 ISO 法蘭。

HS-20 擴(kuò)散泵.png

特性

五級分餾噴嘴純化泵油并確保更好的極限真空。
前級耐壓高。
過熱保護(hù)。
液位觀察鏡可隨時(shí)快速指示泵油的狀況。
泵油注排組件
在入口法蘭下方提供標(biāo)準(zhǔn)規(guī)口 (NW-25)。
前級擋板防止泵油進(jìn)入前級泵系統(tǒng)并造成流失。
可選 halo baffle 水冷帽可以在不增加高度的情況下減少回流。

技術(shù)指標(biāo)

抽氣速率，操作范圍	10000 L/s 空氣，12500 L/s 氦氣和 H₂
抽氣速率，AVS4.1 (1963)	17500 L/s 空氣
抽氣量	在工作范圍內(nèi)為 12.5 T L/s (16.7 mbar L/s)，0.01 Torr 時(shí)為 18 T L/s (23 mbar L/s)
操作范圍	1.3 x 10^-3 至 5 x 10^-8 torr（1.7 x 10^-3至 6.5 x 10^-8 mbar）
前級耐壓	無負(fù)載：0.65 torr (0.85 mbar) 滿載：0.55 torr (0.72 mbar)
推薦前級泵	?100 cfm (170 m³/h)
返油率，標(biāo)準(zhǔn)冷卻帽**	低于 1.5 x 10^-3 mg/cm₂/min
預(yù)熱時(shí)間	45 分鐘
冷卻時(shí)間	85 分鐘
注油量	5 夸脫 (4.7 L)
泵功率	12000 W
電氣要求	3 相，50/60 Hz，240/415/480 VAC
冷卻水要求	在 60-62.22℃ (15-26℃) 時(shí)，抽速為 1.5 gpm (300 L/h)
連接水冷	1/4 英寸 FPT 三通
推薦泵油	DC-704