TwisTorr 74 FS
安捷倫 70 L/s 渦輪分子泵 TwisTorr 74 FS 將 TiwsTorr 拖動(dòng)級(jí)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承技術(shù)相結(jié)合,具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。這款 70 L/s 渦輪分子泵借助渦輪增壓技術(shù)與創(chuàng)新的 TwisTorr 拖動(dòng)級(jí)技術(shù)之間的協(xié)同作用,可提供高真空性能。懸浮軸承確保低振動(dòng)和低噪音,適用于高靈敏度儀器和工作環(huán)境。
這款小型渦輪泵適用于多種應(yīng)用,包括研發(fā)、UHV 系統(tǒng)、核研究和電子顯微鏡。
TwisTorr 74 FS 可提供一體式控制器或機(jī)架控制器。
技術(shù)規(guī)格
技術(shù)規(guī)格 | ||||
抽速 | KF40 | CFF 2.75" | ISO 63 | CFF 4.5" |
N2 He H2 Ar | 44 L/s 33 L/s 28 L/s 40 L/s | 50 L/s 40 L/s 31 L/s 51 L/s | 60 L/s 54 L/s 42 L/s 59 L/s | 60 L/s 54 L/s 42 L/s 59 L/s |
氣體通量 (*) | 風(fēng)冷 (環(huán)境溫度 35 °C) | 水冷 (水溫 25 °C/環(huán)境溫度 35 °C) | ||
N2 | 130 sccm | 130 sccm | ||
Ar | 80 sccm | 80 sccm | ||
(*) 前級(jí)泵 5 m3/h | ||||
壓縮比與前級(jí)耐壓 (**) | ||||
N2 He H2 Ar | 1.0 × 109 2.0 × 105 1.0 × 104 > 1.0 × 109 | > 12 mbar > 10 mbar > 04 mbar > 14 mbar | ||
(**) 前級(jí)耐壓是指渦輪分子泵仍能產(chǎn)生 100 壓縮比的壓力,該壓力在水冷模式下估算得出 | ||||
極限真空(使用推薦的前級(jí)泵) | < 5 × 10-10 mbar < 3.75 × 10-10 Torr) | |||
抽氣口法蘭 | KF 40、ISO 63、CFF 4.5”、CFF 2.75” | |||
前級(jí)管道法蘭 | KF 16 NW | |||
轉(zhuǎn)速 | 70000 rpm(1167 Hz 驅(qū)動(dòng)頻率) | |||
啟動(dòng)時(shí)間 | < 2 分鐘 | |||
推薦的前級(jí)泵 | Agilent DS 40M/DS 102 旋片泵 Agilent IDP-3/IDP-7 渦旋式干泵 | |||
操作位置 | 任意位置 | |||
操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
空氣相對(duì)濕度 | 0%–90%(無(wú)冷凝) | |||
烘烤溫度 | 在入口法蘭處,ISO 為 80 °C(CFF 為 120 °C) | |||
潤(rùn)滑油 | 性潤(rùn)滑 | |||
冷卻要求 | ||||
風(fēng)冷 | 加壓空氣冷卻(環(huán)境溫度 5–35 °C) 氣流溫度 +5° C 至 +35 °C | |||
水冷 | 水溫 +15 °C 至 +25 °C 水流速 65 L/h | |||
噪聲聲壓級(jí)(全速運(yùn)行時(shí)距離 1 m 處) | 40 dB(A) | |||
儲(chǔ)存溫度 | -40 °C 至 +70 °C | |||
海拔 | 3000 m | |||
重量 kg(磅) | ISO 63 CFF 4.5” CFF 2.75” KF 40 | 2.05 (4.50) 3.50 (7.70) 3.34 (7.35) 2.37 (5.22) | ||
規(guī)范符合性 | ||||
CE、C-CSA-US、RoHS 符合 2011/65/UE 要求 |