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方塊電阻測(cè)試儀

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詳細(xì)介紹

Filmetrics的薄膜電阻測(cè)量設(shè)備開(kāi)發(fā)源自于有著超過(guò)30年經(jīng)驗(yàn)的KLA的薄膜電阻計(jì)量技術(shù)，并由20年臺(tái)式測(cè)量設(shè)備開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)的Filmetrics團(tuán)隊(duì)完善了桌面式方塊電阻測(cè)量產(chǎn)品。KLA薄膜電阻測(cè)量技術(shù)包括接觸（4PP）和非接觸（EC）方法。

Filmetrics的R50系列方塊電阻測(cè)量?jī)x器可測(cè)量沉積在各種基材上的導(dǎo)電片和薄膜，跨越10個(gè)數(shù)量級(jí)范圍電阻率，包括：

半導(dǎo)體晶圓基板

玻璃基板

塑料（柔性）基材

PCB圖案特征

太陽(yáng)能電池

平板顯示層和圖案化特征

金屬箔

二、主要功能

l 技術(shù)規(guī)格

Model	Description
R50-4PP	四探針測(cè)試自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-100mm*100mm 可實(shí)現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping測(cè)量可放置直徑200mm晶圓樣品
R50-EC	非接觸渦流測(cè)試自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-100mm*100mm 可實(shí)現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測(cè)量可放置直徑200mm晶圓樣品
R50-200-4PP	四探針測(cè)試自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-200mm*200mm 可實(shí)現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping測(cè)量
R50-200-EC	非接觸渦流測(cè)試自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-200mm*200mm 可實(shí)現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測(cè)量