上海納騰儀器有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)F20
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海
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更新時(shí)間：2025-01-12 12:19:50瀏覽次數(shù)：39次
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KLA的 Filmetrics 系列利用光譜反射技術(shù)實(shí)現(xiàn)薄膜厚度的精確測(cè)量，其測(cè)量范圍從 nm-mm，可實(shí)現(xiàn)如光刻膠、氧化物、硅或者其他半導(dǎo)體膜、有機(jī)薄膜、導(dǎo)電透明薄膜等膜厚精確測(cè)量，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。Filmetrics 具有 F10-HC、F20、F32、F40、F50、F60-t 等多款產(chǎn)品，可測(cè)量從幾 mm 到 450mm 大小的樣品，薄膜厚度測(cè)量范圍 1nm 到mm 級(jí)。
測(cè)量原理-光譜反射
光譜橢圓偏振儀 (SE) 和光譜反射儀 (SR) 都是利用分析反射光確定電介質(zhì)，半導(dǎo)體，和金屬薄膜的厚度和 折射率。 兩者的主要區(qū)別在于橢偏儀測(cè)量小角度從薄膜反射的光, 而光譜反射儀測(cè)量從薄膜垂直反射的光。光譜反射儀測(cè)量的是垂直光，它忽略偏振效應(yīng) （絕大多數(shù)薄膜都是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱）。 因?yàn)椴簧婕叭魏我苿?dòng)設(shè)備，光譜反射儀成為簡(jiǎn)單低成本的儀器。光譜反射儀可以很容易整合加入更強(qiáng)大透光率分析。光譜反射儀通常是薄膜厚度超過(guò) 10um 的，而橢偏儀側(cè)重薄于 10nm 的膜厚。在 10nm 到 10um 厚度之間，兩種技術(shù)都可用。 而且具有快速，簡(jiǎn)便，成本低特點(diǎn)的光譜反射儀通常是更好的選擇。
主要應(yīng)用
測(cè)量厚度、折射率、反射率和穿透率：
技術(shù)能力
光譜波長(zhǎng)范圍：190-1700 nm
厚度測(cè)量范圍：1nm-250 μm
測(cè)量n&k最小厚度：50 nm
準(zhǔn)確度：取較大值，1nm 或 0.2%
精度：0.02nm
穩(wěn)定性：0.05nm
光斑大?。?/span>1.5mm
樣品尺寸：直徑從 1mm 到 300mm 或更大
半導(dǎo)體薄膜：光刻膠、工藝薄膜、介電材料
液晶顯示：OLED、玻璃厚度、ITO
光學(xué)鍍膜：硬涂層厚度、減反涂層
高分子薄膜：PI、PC
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