Filmetrics的薄膜電阻測(cè)量設(shè)備開(kāi)發(fā)源自于有著超過(guò)30年經(jīng)驗(yàn)的KLA的薄膜電阻計(jì)量技術(shù)，并由20年臺(tái)式測(cè)量設(shè)備開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)的Filmetrics團(tuán)隊(duì)完善了桌面式方塊電阻測(cè)量產(chǎn)品。KLA薄膜電阻測(cè)量技術(shù)包括接觸（4PP）和非接觸（EC）方法。
Filmetrics的R50系列方塊電阻測(cè)量?jī)x器可測(cè)量沉積在各種基材上的導(dǎo)電片和薄膜，跨越10個(gè)數(shù)量級(jí)范圍電阻率，包括：
半導(dǎo)體晶圓基板
玻璃基板
塑料（柔性）基材
PCB圖案特征
太陽(yáng)能電池
平板顯示層和圖案化特征
金屬箔
二、主要功能
l 技術(shù)規(guī)格
Model | Description |
R50-4PP | 四探針測(cè)試 自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-100mm*100mm 可實(shí)現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping測(cè)量 可放置直徑200mm晶圓樣品 |
R50-EC | 非接觸渦流測(cè)試 自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-100mm*100mm 可實(shí)現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測(cè)量 可放置直徑200mm晶圓樣品 |
R50-200-4PP | 四探針測(cè)試 自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-200mm*200mm 可實(shí)現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping測(cè)量 |
R50-200-EC | 非接觸渦流測(cè)試 自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-200mm*200mm 可實(shí)現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測(cè)量 |
三、應(yīng)用
支持廣泛的測(cè)量，包括但不限于以下各項(xiàng)：
金屬膜厚度、基板厚度、方塊電阻、電阻率、電導(dǎo)率、多層膜
