棱鏡耦合儀

SPA系列可以提供精確的、非接觸、無損膜厚度測量，適用于薄膜厚度在2-100µm的聚合物材料、硅基氧化膜、硅基玻璃膜，在干涉條紋產(chǎn)生的基礎(chǔ)上通過改變角度產(chǎn)生干涉條紋（VAMFO-變角度單色條紋觀測）的方法。對于厚膜折射率的測量，單色光被直接照射到被測樣品上，這樣，從薄膜表面反射回來的光的干涉最小值就會發(fā)生變化，光的入射角也會發(fā)生變化。在這種技術(shù)中，薄膜厚度是由兩個干涉最小值的角的位置計算出來的。對于這種測量條件——薄膜具有兩個或兩個以上的干擾最小值——薄膜厚度必須大于脫粒率，通常為2微米。樣品夾持機(jī)采用真空從背面支撐樣品，安裝方便簡單。可測量薄膜/基底的類型，硅襯底上幾乎任何透明或半透明材料的氧化物、氮化物、介質(zhì)、聚合物或薄膜?？蓽y量的薄膜/襯底類型：氧化物、氮化物、介電材料、聚合物、或硅襯底上幾乎任何透明或半透明材料的薄膜。

采用帶溫控臺的SPA-4000雙棱鏡對材料薄膜的光熱學(xué)系數(shù)進(jìn)行了測量，材料的光熱系數(shù)被定義為折射率隨溫度變化的函數(shù)，可以被用作光學(xué)數(shù)字開關(guān)，Mach-Zehnder間距式和交叉式光學(xué)開關(guān)，這些光器件通過改變溫度來控制光路，在網(wǎng)絡(luò)通信中起著關(guān)鍵作用。該材料中泛引用的光學(xué)效應(yīng)理論P(yáng)rod’homme理論

產(chǎn)品特性：

1. 薄膜及波導(dǎo)折射率/厚度/光損測量

2. 折射率和薄膜厚度的高分辨率測量

3. 高精度測量散裝或基材材料

4. 雙層薄膜測量（甚至在波長1310 nm或1550 nm處有幾個~?厚度）

5. 不相關(guān)的薄膜/基板組合

6. 無需預(yù)先知識，操作簡單。

7. 批量或基板材料的高精度測量

8. 各向異性/雙折射測量（TE和TM能力）

9. 快速表征

10. 可用于波長范圍內(nèi)的許多激光器（632.8nm~1550nm）

技術(shù)指標(biāo)：

三、應(yīng)用

光通信系統(tǒng)的光學(xué)元件

- 光學(xué)開關(guān)

- 用于WDM的可變光衰減器（VOA）（波分復(fù)用）

- 低光傳播損耗

塑料光纖（POF）

- 用于光通信的塑料光纖放大器（POFA）

- 用于波導(dǎo)的高溫聚合物

溫度依賴性

聚合物的性質(zhì)

- 研究聚合物的鉻性質(zhì)

- 信息顯示和處理

- 存儲材料

納米器件：MEMS，微電子

應(yīng)用領(lǐng)域:

使用SPA系列棱鏡耦合儀可以測量所有類型的薄膜/基材。具體請參看下面表格。

這些散裝和獨(dú)立式膠片是可測量的。