EM-AFM可在SEM中同時(shí)提供原子力顯微鏡成像和納米機(jī)械測(cè)量。它綜合了這兩種技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)，可高速獲得高分辨率的三維圖像，并且在微納米和亞納米尺度上實(shí)時(shí)觀察納米級(jí)力的相互作用，與常規(guī)SEM/FIB兼容，并與EDS, EBSD, WSD兼容。
主要功能
EM-AFM可在SEM中同時(shí)提供原子力顯微鏡成像和納米機(jī)械測(cè)量。它綜合了這兩種技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)，可進(jìn)行形貌掃描、3D成像、納米壓痕/納米拉伸測(cè)試等。
l 技術(shù)特點(diǎn)
同時(shí)獲得AFM和SEM成像
與主流掃描電鏡兼容
樣品更換簡(jiǎn)單
超高分辨率形貌掃描
用納米壓痕法測(cè)量納米力
操作穩(wěn)定性高，不受SEM電子束干擾
真空載鎖兼容
技術(shù)能力
三、應(yīng)用
。
