作為一款缺陷形貌分析的精密測(cè)量?jī)x器，其主要目的是對(duì)大型樣品進(jìn)行缺陷檢測(cè)。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯(cuò)誤的存在。Park NX20，這款精密的大尺寸樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，在半導(dǎo)體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚(yáng)，ParkNX20擁有業(yè)界便捷的設(shè)計(jì)和自動(dòng)界面，讓你在使用時(shí)無(wú)需花費(fèi)大量的時(shí)間和精力，也不用為此而時(shí)時(shí)不停的指導(dǎo)初學(xué)者。借助這一系列特點(diǎn)，您可以更加專注于解決更為重大的問(wèn)題，并為客戶提供及時(shí)且富有洞察力的失效分析報(bào)告。
強(qiáng)大全面的分析能力，Park NX20具備無(wú)二的功能，可快速幫助客戶找到產(chǎn)品失效的原因，并幫助客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。的精密度為您帶來(lái)高分辨率數(shù)據(jù)，讓您能夠更加專注于工作。與此同時(shí)，真正非接觸掃描模式讓探針更鋒利、更耐用，無(wú)需為頻繁更換探針而耗費(fèi)大量的時(shí)間和金錢。
的產(chǎn)品特點(diǎn)
1）Smartscan智能掃描模式，“1，2，3”點(diǎn)擊即可實(shí)現(xiàn)成像
2）Pinpoint Nanomechanical力控出圖模式，更的力學(xué)形貌成像及各種電學(xué)測(cè)試
3）強(qiáng)大的內(nèi)置集成軟件系統(tǒng)，自帶LFM/液相AFM/MFM/EFM/KPFM/Force Curve軟件模式
技術(shù)參數(shù)
低噪聲XYZ位置傳感器
高速Z軸掃描器，掃描范圍15μm
自動(dòng)多樣點(diǎn)掃描，集成編碼器的XY自動(dòng)載樣臺(tái)（編碼器可用于所有自動(dòng)樣品載臺(tái)，并可保證更高的重復(fù)定位精度，從而可更
精確地控制樣品測(cè)量位置。XY馬達(dá)運(yùn)動(dòng)工作時(shí)分辨率為1 µm，重復(fù)率為2 µm。Z馬達(dá)運(yùn)動(dòng)的分辨率為0.1 µm，重復(fù)率為1 µm）
用于高級(jí)掃描模式易插拔擴(kuò)展槽。
200mm樣品臺(tái)（可選擇300mm樣品臺(tái)）
選項(xiàng)/模式
標(biāo)準(zhǔn)成像 | 電學(xué)性能測(cè)量 | 機(jī)械性能測(cè)試 |
? 真正非接觸式 ? 接觸式 ? 側(cè)向摩擦力顯微技術(shù)（LFM） ? 相位模式，輕敲模式 | ? 導(dǎo)電AFM（ULCA和VECA） ? 靜電力顯微鏡（EFM） ? 壓電力顯微鏡（PFM） ? 掃描電容顯微鏡（SCM） ? 掃描開爾文探針顯微鏡（KPFM） ? 掃描電阻顯微鏡（SSRM） | ? 力調(diào)制顯微鏡（FMM） ? （PFM）壓電力顯微鏡 ? 力調(diào)制顯微鏡（FMM） ? 壓痕，納米刻蝕 ? 相位成像 |
磁性能 | 熱性能 | |
? 磁力顯微鏡（MFM） | ? 掃描熱顯微鏡（SThM） |
應(yīng)用
用于失效分析和大型樣品研究的的納米計(jì)算工具，滿足各個(gè)領(lǐng)域的研究
缺陷檢查成像和分析
高分辨率電子掃描模式
對(duì)樣品合基片進(jìn)行表面粗糙度測(cè)量
樣品側(cè)壁三維結(jié)構(gòu)的測(cè)量
