nGauge原子力顯微鏡作為一臺單芯片（Single-Chip）AFM，是加拿大滑鐵盧大學(DARPA聯(lián)合項目)近十年的研發(fā)成果。Single-Chip技術(shù)通過CMOSMEMS工藝將AFM的所有組件（精細XYZ運動和納米級感測）集成到單個1mm x 1 mm的芯片上，減少了對大功率及垂直檢測激光對準設備的需求，極大提升了設備自身的抗震性能、掃描速率、掃描精度，實現(xiàn)經(jīng)濟、高效、便捷的原子力掃描。

可以用于納米級三維結(jié)構(gòu)的量測，表面粗糙度的檢測，膜厚、臺階測試，相位測試等。

主要功能
形貌表征：三維結(jié)構(gòu)量測：Z>1nm
臺階高度：1nm~10um
表面粗糙度檢測：>1nm
相位測試

國內(nèi)用戶（排名不分先后）

南京大學
同濟大學
中科院微電子研究所
合肥物質(zhì)研究院
復旦大學
東華大學
天津大學

相關(guān)文獻

N. Sarkar and R. Mansour, “CMOS-MEMS atomic force microscope,” Transducers 2015
D. Strathearn, G. Lee, N. Sarkar, M. Olfat and R. R. Mansour, "A distortion-free single- chip atomic force microscope with 2DOF isothermal scanning," 2015 Transducers - 2015 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), Anchorage, AK, 2015, pp. 2113- 2116.
N. Sarkar, D. Strathearn, G. Lee, M. Olfat, and R. R. Mansour, “A 0.25MM3 ATOMIC FORCE MICROSCOPE ON-A-CHIP,” MEMS 2015, pp. 732–735, 2015.