MPI TS2000是世界范圍內(nèi)成熟的探針系統(tǒng)的自然演變，其專用設(shè)計(jì)滿足半導(dǎo)體測(cè)試市場(chǎng)的要求。該系統(tǒng)與所有MPI系統(tǒng)附件兼容，主要用于解決故障分析，設(shè)計(jì)驗(yàn)證，IC工程，晶圓級(jí)可靠性以及MEMS，高功率，RF和mmW器件測(cè)試的特殊要求。
產(chǎn)品描述
TS2000可用于環(huán)境溫度和/或僅熱溫度操作模式，速度快達(dá)10 Dies /秒（取決于最終配置），這使其成為離散RF設(shè)備上預(yù)生產(chǎn)電氣測(cè)試的理想選擇，例如：
1. 適用于多種量產(chǎn)型晶圓量測(cè)應(yīng)用
- 模塊量測(cè)-DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
- 射頻量測(cè)-至高 67 GHz
- 高功率量產(chǎn)測(cè)試-至高 10 kV / 600 A
- 集成電路設(shè)計(jì)驗(yàn)證-室溫至 300 °C
2. 量產(chǎn)可靠性
專為24/7 穩(wěn)定可靠的量產(chǎn)測(cè)試而設(shè)計(jì)
內(nèi)建被動(dòng)式防震桌
可另選配避震基座
適用于室溫至300 °C量測(cè)
3. 工效學(xué)設(shè)計(jì)及彈性選配
簡(jiǎn)易便利的前門單晶圓上片設(shè)計(jì)
大面積工作臺(tái)設(shè)計(jì)，可乘載至多12x DC或4x DC+4x RF 微定位器、或4.5”標(biāo)準(zhǔn)探針卡夾具
另有多種晶圓載物臺(tái)、4.5“探針卡夾具可做選擇，亦有諸多配件如 DC/RF 微定位器、光學(xué)顯微鏡等可搭載，以支援您的應(yīng)用需求
特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)
1. 廣泛使用大探針壓板
TS2000系列提供大型，易于接近的探頭壓板，可容納多達(dá)12x DC或4x RF MicroPositioners
負(fù)載牽引調(diào)諧器或更大面積的MicroPositioners 的集成使TS2000系統(tǒng)成為RF和mmW測(cè)量的理想選擇
2. 易于晶圓裝載
大型前門通道可輕松裝載/卸載100，150，200mm晶圓，晶圓碎片或甚至小于5*5mm IC
AUX卡盤位于前面，可以方便地裝載/卸載。沒有推出階段允許用于RF校準(zhǔn)和探針卡清潔的簡(jiǎn)單自動(dòng)化方法
3. 集成硬件控制面板
智能硬件控制面板集成到探頭系統(tǒng)中,基于數(shù)十年的經(jīng)驗(yàn)和客戶交互設(shè)計(jì),提供更快,更安全,更方便的系控制和測(cè)試操作
如有必要,鍵盤和鼠標(biāo)的位置可以控制軟件,還可以控制基于Windows的儀器。
用于晶圓和AUX卡盤的真空控制面板位于右前側(cè),便于在裝載/卸載過程中進(jìn)行操作。
4. 熱卡盤集成
熱卡盤 (從20℃ 或環(huán)境溫度到300℃) 可以使用集成的觸摸屏顯示器進(jìn)行操作, 放置在操作員面前的方便位置, 以便快速操作和立即反饋。
5. P探針卡和微型定位器-同時(shí)進(jìn)行
許多單探頭，用于4.5”×11” 探針卡的薄型探針卡固定器, 以及較低的板與卡盤距離, 是使用有源探頭同時(shí)探測(cè)的理想選擇, 使該系統(tǒng)成為設(shè)計(jì)驗(yàn)證和成故障分析工作的理想選擇。
6. 集成 DarkBox
TS2000D就是已集成 Dark Box的TS2000!
該系統(tǒng)專為占地面積, 嵌入式互鎖, LED照明和各種測(cè)量?jī)x器的標(biāo)準(zhǔn)化接口面板而設(shè)計(jì), 是光和激光安全保護(hù)測(cè)試環(huán)境的。
從后面板輕松訪問, 可以快速, 方便地重新配置或初始設(shè)置
7. 儀器集成
可選的儀器架減少了電纜長(zhǎng)度, 提高了F和mmW應(yīng)用的測(cè)量動(dòng)態(tài)和方向性
8. 隔振
T52000采用兩種類型的隔振解決方案,可在不網(wǎng)的實(shí)驗(yàn)室測(cè)試環(huán)境中更好地運(yùn)行?？傉嫉孛娣e與工業(yè)中常用的現(xiàn)有獨(dú)立振動(dòng)隔離表相當(dāng)或更小
9. 軟件套件 SENTIO
MPI自動(dòng)化工程探針系統(tǒng)由且革命性的多點(diǎn)觸控操作控制 SENTIO軟件套件—簡(jiǎn)單直觀的操作節(jié)省了大量的培訓(xùn)時(shí)間，Scroll、Zoom，Move命令模仿現(xiàn)代智能移動(dòng)設(shè)備，讓每個(gè)人能在幾分鐘內(nèi)成為專家。
對(duì)于RF應(yīng)用，無(wú)需切換到另一個(gè)軟件平臺(tái)-MPI RF校準(zhǔn)軟件程序QAlibria與 SENTIO集成-通過遵循單一操作概念方法易于使用
