深圳市邦企創(chuàng)源科技有限公司
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聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 農(nóng)機(jī)網(wǎng)晶圓桌面烤膠機(jī),烘膠臺(tái),加熱板,加熱均勻,烘烤時(shí)間短、重復(fù)性高.烤膠機(jī)包含真空腔體和溫控裝置兩部分,采用新穎的數(shù)字式加熱設(shè)計(jì),可以控制表面溫度均勻性;堅(jiān)固耐腐蝕的鋁合金面板,優(yōu)異的導(dǎo)熱性可以滿足多種應(yīng)用場(chǎng)景;數(shù)字式顯示器可迅速編碼準(zhǔn)確控制溫度
產(chǎn)品介紹
晶圓桌面烤膠機(jī),烘膠臺(tái),加熱板,加熱均勻,烘烤時(shí)間短、重復(fù)性高.烤膠機(jī)包含真空腔體和溫控裝置兩部分,采用新穎的數(shù)字式加熱設(shè)計(jì),可以控制表面溫度均勻性;堅(jiān)固耐腐蝕的鋁合金面板,優(yōu)異的導(dǎo)熱性可以滿足多種應(yīng)用場(chǎng)景;數(shù)字式顯示器可迅速編碼準(zhǔn)確控制溫度;獨(dú)立的防過(guò)熱電路設(shè)計(jì),確保實(shí)驗(yàn)安全。
高精密實(shí)用型烤膠機(jī),尺寸小巧,可放入手套箱內(nèi)使用,適合于6寸晶圓烤膠。HP6結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)新穎,美觀大方,全陽(yáng)極氧化鋁機(jī)身結(jié)構(gòu)。
升溫速度快,由高性能數(shù)顯溫控表加熱控制,長(zhǎng)壽命、高熱均勻性的發(fā)熱部件供熱,高硬度、耐腐蝕的陽(yáng)極氧化鋁加熱面板。自帶真空吸片功能和熱輻射保護(hù)蓋子,特別適合用于對(duì)各種控溫精度高,熱均勻性要求較高的實(shí)驗(yàn)室處理場(chǎng)所。
1. 表面陽(yáng)極氧化鋁加熱面板,耐腐蝕,高硬度
2. 高精度數(shù)顯溫控表控制,帶分段線性控溫功能,升溫速率可控,可編輯多段溫度曲線
3、可同時(shí)顯示設(shè)定溫度和實(shí)際溫度,溫度可達(dá)400℃(可訂制600度,800度)
4. 加熱輸出獨(dú)立電路控制,提高了設(shè)備使用安全,加熱部件與元器件分離設(shè)計(jì),確保安全
5. 可手動(dòng)開(kāi)關(guān)真空吸附功能,使基片緊密接觸熱板表面
6. 長(zhǎng)壽命、高熱均勻性加熱部件,特殊的隔熱設(shè)計(jì)
7. 加熱結(jié)構(gòu)沉入式設(shè)計(jì),尺寸小巧,適于手套箱內(nèi)使用
8. 帶熱輻射式密閉蓋子,加熱控溫250度
9. 高熱均勻性,高控溫精度
10、外觀小巧精致,更適宜手套箱使用
11、普通機(jī)械泵可達(dá)到10-1pa,分子泵可達(dá)到10-3pa
12、可定制觀察窗樣式,且預(yù)留電學(xué)拓展接口
13、烘烤時(shí)間短、重復(fù)性高和薄膜固化效果好
1.加熱面板尺寸:Φ220mm,適合8”圓晶,加熱面板尺寸:220×220mm
2.控溫范圍:室溫~250℃、室溫~300/500℃/600℃/800℃
3.加熱板材質(zhì):鋁合金表面硬質(zhì)陽(yáng)極氧化
4.控溫方式:自適應(yīng)PID控制
5.溫度分辨率:0.1℃
6.控溫精度:±0.2℃
7.溫度均勻性:≤±1%(板面9點(diǎn)或12點(diǎn)溫度差)
8.真空度:≤-1Pa(可術(shù)制雙級(jí)旋片泵-0.8Pa)
9.真空腔規(guī)格:300(W)*300(D)*60(H)mm
10.電源輸入:AC220V,8A
11.加熱功率: 1500W
12.重量:4kg
應(yīng)用范圍:
太陽(yáng)能電池
微流控芯片
光刻工藝
半導(dǎo)體工藝
晶圓烤膠機(jī)適用范圍:適用于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝的,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化??稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位進(jìn)行老化、溫度試驗(yàn)及干燥、烘焙和熱處理等作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。
晶圓烤膠機(jī)是具有高熱均勻性和準(zhǔn)確溫度控制的烤膠設(shè)備。可實(shí)現(xiàn)精密控溫烤膠操作。結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單,升溫速度快,由高性能數(shù)顯溫控表加熱控制,長(zhǎng)壽命、高熱均勻性的發(fā)熱部件供熱,高硬度、耐腐蝕的陽(yáng)極氧化鋁面板。適合用于對(duì)各種控溫精度高,熱均勻性要求較高的一般實(shí)驗(yàn)室處理場(chǎng)所。
晶圓桌面烤膠機(jī)使用方法操作步驟:
1.接通電源,打開(kāi)開(kāi)關(guān)。
2.通過(guò)控溫儀的上下箭頭設(shè)置所需烘烤溫度。
3.加熱板溫度到設(shè)置溫度后,可以進(jìn)入烘烤工作。
4.將烘烤元件或要加熱的東西放在加熱板上。
5.工作時(shí),如遇到供電系統(tǒng)的突變干擾,主機(jī)顯示異常,比時(shí)應(yīng)盡快關(guān)機(jī),確保供電電源穩(wěn)定后再重新開(kāi)機(jī)工作。
6.不用時(shí),切斷電源,將防塵布蓋上。
烘膠機(jī)正常工作條件要求:
1.溫度范圍:RT~300℃(150℃請(qǐng)勿合蓋)。
2.周圍空間無(wú)腐蝕性物質(zhì)。
3.無(wú)強(qiáng)烈振動(dòng)及冷、熱源直接輻射。
4.適用于室內(nèi)工作環(huán)境。
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